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26113 微几何量评定总则技术 2010微机电系统 MEMS

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28276 体硅溶片工艺规范 2012硅基MEMS制造技术

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2012硅基MEMS制造技术图设计基本规则版 28274

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26112 微机械量评定总则技术 2010微机电系统 MEMS

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2024 MEMS 技术 44513 环境试验方法微机电系统传感器用MEMS压电薄膜

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MEMS 技术 MCT 测量方法微型V形试验 2026 微机电系统玻璃浆料键合强度 47768

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2020微机电系统 MEMS 图书试验方法 T38446 技术带状薄膜抗拉性能纸版

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2017微机电系统 MEMS 图书 MEMS微结构应变梯度测量方法 T34894 技术基于光学干涉纸版

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MEMS系统级建模塔玛拉·贝克唐德书工业技术书籍

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2012 体硅溶片工艺规范硅基MEMS制造技术 28276

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28274 图设计基本规则版 2012 硅基MEMS制造技术

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32814 MEMS工艺规范基于SOI硅片 2016 硅基MEMS制造技术

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33922 圆片级试验方法压力敏感芯片性能 2017 MEMS压阻式

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33929 MEMS高g值加速度传感器性能试验方法 2017

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2017 MEMS 技术 34894 MEMS微结构应变梯度测量方法微机电系统基于光学干涉

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2017 MEMS 技术 34899 微微机电系统基于拉曼光谱法

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MEMS微结构应变梯度测量方法技术 34894 基于光学干涉 MEMS 2017微机电系统

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